M. Knoblich

2 Beiträge

B30 · Vortrag · 122. Tagung (2021)

Variable, ringförmige Belichtung zur lithografischen Herstellung rotationssymmetrischer mikrooptischer Elemente - Konzeption und Funktionsnachweis

M. Knoblich , M. Kraus , E. Förster , H.-J. Dobschal, D. Stumpf, L. Werner, X. Uwurukundo, H. Hillmer, R. Brunner

B13 · Vortrag · 121. Tagung (2020)

Ringförmige Grautonlithografie zur Herstellung rotationssymmetrischer mikrooptischer Elemente – Konzeption und Funktionsnachweis

M. Knoblich , M. Kraus , E. Förster , H.-J. Dobschal, D. Stumpf, H. Hillmer, R. Brunner