B34 · Talk · 123. Conference (2022)
Vergleich verschiedener Ansätze zur zerstörungsfreien optischen Charakterisierung von Subwellenlängenstrukturen
J. Wüster, A. Knauer, R. Schmidt-Grund, S. Sinzinger
A2 · Talk · 122. Conference (2021)
Ellipsometrie zur Charakterisierung optischer Beugungsgitter mit hohem Aspektverhältnis
J. Wüster, A. Knauer, S. Sinzinger