O. Fursenko

IHP – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt(Oder), Germany

2 Beiträge

B35 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Messverfahren zur Kontrolle tiefer Siliziumstrukturen für die 3D-Chip-Integration

J. Bauer, F. Villasmunta, F. Heinrich, C. Villringer, J. Reck, S. Peters, A. Treffer, Chr. Kuhnt , St. Marschmeyer, O. Fursenko, P. Steglich , A. Mai , S. Schrader, M. Regehly

A17 · Vortrag · 122. Tagung (2021)

Bestimmung der optischen Konstanten und Streueigenschaften von transparenten Kunststoffen auf Polyurethanbasis für den Einsatz in der Optoelektronik

J. Bauer, O. Fursenko, F. Heinrich, M. Gutke, B. Dietzel, E. Kornejew , O. Broedel, A. Kaltenbach, M. Burkhardt, M. Edling, S. Pulwer, P. Steglich , M. Herzog, S. Schrader