B30 · Talk · 122. Conference (2021)
Variable, ringförmige Belichtung zur lithografischen Herstellung rotationssymmetrischer mikrooptischer Elemente - Konzeption und Funktionsnachweis
M. Knoblich , M. Kraus , E. Förster , H.-J. Dobschal, D. Stumpf, L. Werner, X. Uwurukundo, H. Hillmer, R. Brunner