Guido Straube

Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau

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A10 · Talk · 123. Conference (2022)

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Heterodynes Interferometer mit vier Strahlen für hochpräzise Längen- und Winkelmessung in Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

G. Straube, J. S. Fischer-Calderón, I. Ortlepp, R. Füßl, E. Manske