J. S. Fischer-Calderón

Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau

1 paper

A10 · Talk · 123. Conference (2022)

Heterodynes Interferometer mit vier Strahlen für hochpräzise Längen- und Winkelmessung in Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

G. Straube, J.S. Fischer-Calderón, I. Ortlepp, R. Füßl, E. Manske