P8 · Poster · 125. Conference (2024)
Neu konzipiertes Messprogramm für eine Nanopositioniermaschine mit fünf Dimensionen
C. Fan, J. Leineweber, I. Ortlepp, T. Fröhlich
B29 · Talk · 123. Conference (2022)
Integration eines ultravioletten Direktschreiblasers und dessen roten differentiell-konfokalen Messsystems
J. Belkner, J. Leineweber, A.-V. Häcker, I. Ortlepp, E. Manske