B16 · Talk · 109. Conference (2008)
Rekonstruktion der Gitterparameter zweidimensionaler Gitter mit Hilfe der RCWA und analytischer Gradientenberechnung
B. Trauter , J. Hetzler
B8 · Talk · 107. Conference (2006)
Die Höhen-Transfer-Funktion (HTF) zur Charakterisierung der lateralen Auflösung in Interferometern
B. Dörband, J. Hetzler