A. Fernández Herrero

Helmholtz-Zentrum Berlin, Department Optics and beamlines, Albert- EInstein 15, 12489 Berlin, Germany

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A7 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Grautonlithographie für die Herstellung von Blazegittern

A. Fernández Herrero, N. Samadi, S. Rehbein, V. Guzenko, A. Sokolov, C. Braig, A. Teichert, A. Erkot, T. Krist, C. David, F. Siewert