C. Braig

IAP Institut für angewandte Photonik e.V., Rudower Chaussee 29, 12489 Berlin

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A7 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Grautonlithographie für die Herstellung von Blazegittern

A. Fernández Herrero, N. Samadi, S. Rehbein, V. Guzenko, A. Sokolov, C. Braig, A. Teichert, A. Erkot, T. Krist, C. David, F. Siewert