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ISSN 1614-8436
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P.-I. Schneider
P.-I. Schneider
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B9 · Vortrag · 124. Tagung (2023)
Machine learning based optimization with applications in optics design, scatterometry, and experiment control
P.-I. Schneider , I. Sekulic , M. Plock, S. Heidenreich, S. Burger