N. Schneele

HS Aalen, Zentrum für optische Technologien, Mikro- & Nanophotonik

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A11 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Nanoimprint Lithographie auf nicht-planaren Oberflächen mittels einer Kombination aus flexiblen und vorgeformten Imprintstempel.

N. Schneele, C. Eder, A. Heinrich