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ISSN 1614-8436
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A. C. Klein
A. C. Klein
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Jena
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B20 · Talk · 124. Conference (2023)
Realisierung eines hoch-NA Punktmustergenerators durch Implementierung binärer Subwellenstrukturen
A. C. Klein, T. Flügel-Paul, R. Brüning