T. Flügel-Paul

Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Jena

1 paper

B20 · Talk · 124. Conference (2023)

Realisierung eines hoch-NA Punktmustergenerators durch Implementierung binärer Subwellenstrukturen

A. C. Klein, T. Flügel-Paul, R. Brüning