Einsatz des LACS - Verfahrens für Sphärizitätsmessungen

Die Formmessung von Oberflächen großer sphärischer Komponenten erfordert wegen der ausgedehnten Lateraldimensionen oft kostenintensive Messgeräte, insbesondere, wenn eine hohe Lateralauflösung gewünscht ist. Bei dieser Aufgabenstellung kann eine Messung mit dem LACS - Verfahren (Large Area Curvature Scanning) durchgeführt werden, das nur ein kleines Interferometer erfordert. Dabei wird die Form aus den lokalen Krümmungswerten der Oberfläche berechnet. An Hand von Messergebnissen für eine sphärische Fläche mit geringen Abweichungen von der Sollform wird die Reproduzierbarkeit und Genauigkeit des Verfahrens demonstriert. Die Auflösung kleiner lateraler Strukturen erweitert dabei die möglichen Einsatzgebiete des Verfahrens.