Polarisationsmikroskopie im DUV

In der hochauflösenden optischen Metrologie geht der Trend zu immer kürzeren Wellenlängen. Derzeit sind Systeme für eine Wellenlänge von 248nm auf dem Markt, Entwicklungen hin zu 193nm unter Einbeziehung von Immersionsmethoden sind angedacht. Die Entwicklung und die Umsetzung solcher Technologien ist mit einem enormen finanziellen Aufwand verknüpft, sodass nicht nur deshalb dem tiefgreifenden physikalischen Verständnis der Bildentstehung unter Einbeziehung des Vektorcharakters des Lichtes eine zentrale Rolle für die zukünftige optische Metrologie zukommt. Im Rahmen dieses Themenfeldes stellen wir ein Mikroskop im DUV (248nm) vor, mit dem polarisationsoptische Messmethoden für die hochauflösende optischen Metrologie realisiert werden können. Anhand einzelner Beispiele wird der Einfluss und der Nutzen der Polarisation für die optische Metrologie demonstriert.