Automatisiertes Autofokus-Messsystem zur Oberflächen-Qualitätsprüfung

Mit optischen Sensoren nach dem Autofokusprinzip können Abstände zu reflektierenden oder streuenden Oberflächen mit hoher Empfindlichkeit gemessen werden. Für eine Prüfung der Bauteilgeometrie im Fertigungsprozess ist eine automatisierte Messdatenerfassung, -auswertung und -dokumentation erforderlich. Die Anforderungen an die Tiefenauflösung senkrecht zur Bauteiloberfläche liegen im Sub-Mikrometerbereich. Es wird über ein automatisiertes Autofokusmesssystem mit Anwendungsbeispielen berichtet, bei dem der Autofokussensor auch gegen andere optische Sensoren ausgetauscht werden kann.