Test eines absolutmessenden lnterferometers am 50m-Längenkomparator der PTB
TEM Messtechnik GmbH, Hannover; 2 PTB Braunschweig; 3 Institut für Physik, Universität Greifswald
thomas.kinder@tem-messtechnik.de
Abstract
Untersucht wird die Messgenauigkeit eines absolutmessenden Distanzinterferometers mit variabler synthetischer Wellenlänge (VSW-ADI) mit einem Messbereich bis über 50m. Der transportable Experimentalaufbau wurde zur Feststellung der tatsächlichen systematischen Messabweichungen einem Vergleichstest am 50-Meter-Längenkomparator der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) in Braunschweig unterzogen, wobei ein inkrementelles Laserinterferometer als Normal dient. Die gewählte Anordnung von Prüfling und Normal gewährleistet eine Minimierung des Komparatorfehlers. Im Messbereich von 2?55m wurden auch unter künstlich verschlechterten Umgebungsbedingungen systematische Messabweichungen von lediglich 2?20µm (distanzabhängig) festgestellt. Darüber hinaus davon erlauben theoretische Betrachtungen eine Prognose statistischer und systematischer Abweichungen für unterschiedliche ADI-Anordnungen und Versuchsbedingungen.