Störreflexunterdrückung durch Modulation der Laserwellenlänge bei der interferometrischen Vermessung der Oberflächen von transparenten Planparallelplatten

Die interferometrische Vermessung der Oberfläche von transparenten Planparallelplatten ist eine seit langem bestehende Herausforderung für die optische Messtechnik. Sie gestaltet sich im Gegensatz zur standardmäßigen interferometrischen Flächenprüfung schwierig dadurch, dass der Reflex von der Rückseite der Platte das auszuwertende Interferogramm stört. Mögliche Lösungen wie z.B. Ablackieren der Plattenrückseite, der Einsatz eines Weisslichtinterferometers oder die Auswertung von Dreistrahlinterferenzbildern sind oft unpraktikabel, sehr aufwendig oder nicht hinreichend genau. Es wird ein Verfahren vorgestellt, welches auf der Verwendung eines Fizeauinterferometers mit frequenzmodulierbarer Laserdiode basiert. Durch Variation der Laserfrequenz während der Integrationszeit der Kamera wird erreicht, dass die Störinterferenzen unsichtbar werden und eine hochgenaue Passemessung ohne zusätzliche Auswertealgorithmik möglich wird