Direkte Messung der Volumenabsorption hochtransparenter optischer Materialien mittels laserinduzierter Teststrahlablenkung (LID)

Institut für Physikalische Hochtechnologie e.V., Jena

christian.muehlig@ipht-jena.de

Abstract

Die Bestimmung der laserinduzierten Volumenabsorption hochtransparenter optischer Materialien stellt messtechnisch eine große Herausforderung dar, da Absorptionskoeffizienten ≤10^-3cm^-1 zu bestimmen sind. Dabei stören Reflexion, Streuung und Absorption an den Oberflächen sowie Volumenstreuung. Im Unterschied zu Transmissionsmessungen und Kalorimetrie erlaubt das vorgestellte Verfahren der laserinduzierten Teststrahlablenkung (laser induced deflection - LID) die direkte, präzise Messung der Volumenabsorption mit nur einer kleinen Probe. Neben der Kalibrierung und dem Einfluss von Materialparametern hochtransparenter UV- und IR- Materialien auf die Messempfindlichkeit werden Ergebnisse von Messungen an synthetischem Quarzglas und CaF2 bei DUV-Pulslaserbestrahlung diskutiert.

Keywords

Messtechnik Mikrolithografie Optische Materialien
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@inproceedings{dgao105-b22, title = {Direkte Messung der Volumenabsorption hochtransparenter optischer Materialien mittels laserinduzierter Teststrahlablenkung (LID)}, author = {Ch. Mühlig, S. Kufert , W. Triebel}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 105. Jahrestagung}, year = {2004}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Vortrag B22} }
105. Jahrestagung der DGaO · Bad Kreuznach · 2004