Herstellung integriert-optischer Wellenleiter durch Excimer- und fs-Pulslaser für den Einsatz in der Interferometrie

Für die Fertigung eines integriert-optischen Interferometers werden WellenIeiterstrukturen in Glas gefertigt, ihre Oberflächen qualifiziert und die Einkopplung eines auf die Stirnfläche fokussierten Laserstrahls getestet. Zur Strukturierung sind Methoden der Lasermaterialbearbeitung im Einsatz, zum einen die Brechzahlmodifikation durch fs-Pulslaser, zum anderen die Excimerlaserablation und Fotopolymerisation. Die so erzeugten Strukturen werden an ihrer Stirnfläche poliert und eine Einkopplung zur Transmissionskontrolle durchgeführt. Streu- und Absorptionsverluste werden quantifiziert und die optischen Parameter der Wellenleiter durch Charakterisierung der Winkelverteilung des ausgekoppelten Strahls untersucht. Erste Proben mit lateral benachbarten Wellenleitern im Abstand weniger µm zeigen die Überkopplungseigenschaften der Moden und ihre polarisationsabhängige lnterferenzfähigkeit an. Die Ergebnisse sind mit den Resultaten eines 3x3-Faserkopplers zu vergleichen. Ziel ist die Miniaturisierung eines integrierten 3x3-Wellenleiterkopplers zur Realisierung eines Wegmesssystems zur Positionsregelung eines Mikrolinearmotorläufers. Das Projekt wird von der DPG mit dem Kennzeichen SFB 516-03 gefördert.