Gute Bilder mit doppelbrechenden Linsen: Bewertung und Kompensation intrinsischer Doppelbrechung

Intrinsische Doppelbrechung ist ein durch räumliche Dispersion verursachter Effekt, der zu einer Richtungsabhängigkeit des dielektrischen Tensors in Kristallen führt. Er tritt u.a. in CaF2 für DUV-Wellenlängen auf. Für den Einsatz von CaF2 in der optischen Lithographie muss die intrinsische Doppelbrechung daher für ein gegebenes Design bewertet und kompensiert werden. Zur Kompensation werden CaF2-Linsen in unterschiedlichen Kristallschnitten kombiniert. Wir haben ein Verfahren entwickelt, mit dem der Beitrag einzelner Linsen zur Gesamt-Doppelbrechung des Systems auf einfachem Wege ermittelt und im Design berücksichtigt werden kann. Im Beitrag werden die physikalischen Grundlagen für die intrinsische Doppelbrechung, die Auswirkungen auf die Bildgüte sowie das Bewertungs- und Kompensationsverfahren vorgestellt.