Achromatisierung planar-integrierter optischer Systeme mit diffraktiven optischen Elementen

Der Systemansatz der planaren Integration ist hervorragend geeignet, die klassische Freiraumoptik in die moderne Mikrosystemtechnik einzubinden. Planar-integrierte freiraum-optische (PIFSO) Systeme aus diffraktiven Phasenelementen können auf der Basis von Lithografie und Trockenätzen mit höchster Präzision hergestellt werden. Wegen der starken Wellenlängenabhängigkeit diffraktiver Komponenten muss allerdings darauf geachtet werden, dass Wellenlängendrift und Breitbandigkeit vieler realer Lichtquellen nicht zum Problem werden. Besonders gut geeignet sind hier rein diffraktive Kompensationsansätze. Wir diskutieren deren praktische Anwendung beim Entwurf von PIFSO-Systemen. Experimentell wird ein achromatisiertes optisches Fourier-Tranformationsmodul demonstriert. Dabei zeigt sich, dass über das gesamte sichtbare Spektrum eine Wellenlängenkompensation erreichbar ist, die einfachen visuellen Ansprüchen genügt.