Untersuchung direkter Optimierungsverfahren für das iterative Design diffraktiver Bauelemente

Das iterative Verfahren nach Gerchberg-Saxton (IFTA) hat sich bereits seit einigen Jahren als ein Standardverfahren zum Design von diffraktiven optischen Bauelementen etabliert. Durch Einbeziehung technologischer Randbedingungen in die Optimierung kann dieses sog. indirekte Optimierungsverfahren in ein direktes Verfahren überführt werden. Damit können z.B. die spezifische Antwortfunktion des Ätzprozesses oder die Eigenschaften (z.B. Pixelgeometrie oder Phasentiefe) aktiver Phasenmodulatoren im Design berücksichtigt werden. Weiterhin wird der Einfluss verschiedener Bewertungskriterien auf das Optimierungsergebnis untersucht. An ausgewählten Beispielen von Wunschverteilungen in der Fourierebene werden die Ergebnisse der Entwurfsverfahren mit direkter und indirekter Optimierung verglichen.