Photonische Kristallstrukturen in Tantalpentoxid (Ta2O5)

In Ausbreitungsrichtung des Lichts periodisch strukturierte Materialien zeigen für Licht ähnliche Bandlückeneigenschaften, wie sie in Halbleitern für Elektronen bekannt sind und werden daher als Photonische Kristalle bezeichnet. Für amorphes Tantalpentoxid (Ta2O5), ein im sichtbaren und nahen infraroten Wellenlängenbereich transparentes und hochbrechendes Material (n = 2,1), stellen wir dreidimensionale numerische Simulationsergebnisse, Erfahrungen beim Ätzen und Messergebnisse für Grundstrukturen optischer Bauelemente, wie W1- und W3-Wellenleiter, -knicke und -taper sowie Resonatorstrukturen auf der Basis zweidimensionaler Photonischer Kristalle vor. Des weiteren werden Simulationen zur Anregung geführter Moden in der Kristallschicht und deren Vermessung durch Einstrahlung in einer Ebene senkrecht zur Kristallebene diskutiert, aus deren Untersuchung Rückschlüsse auf Material- und Strukturparameter möglich sind.