Durchlichtprüfung diffraktiver zylindrischer Nullelemente
- Chair of Optics, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
lamprecht [at] optik [dot] uni-erlangen [dot] de
Die zunehmend steigenden Anforderungen an die Qualität hochaperturiger zylindrischer Mikrooptiken (N.A. ~0,8) machen Messverfahren mit interferometrischer Genauigkeit unumgänglich. Wie bereits gezeigt werden konnte, stellt die Mach-Zehnder-Durchlichtprüfung unter Verwendung angepasster diffraktiver Nullelemente ein geeignetes Verfahren dar. Ein zentrales Thema ist dabei die Bereitstellung einer möglichst idealen Referenzwelle unter Berücksichtigung rigoroser Beugungstheorie beim Design der Linse. Der Beitrag stellt diesbezüglich eine Prüfmethode zur umfassenden Charakterisierung der verwendeten Nulloptik im Hinblick auf mögliche Design- und Herstellungsfehler vor und diskutiert Verfahren und Aspekte zur Optimierung der erzeugten Wellenfront.
@inproceedings{lamprecht2004p24,
author = {Lamprecht, Jürgen and Lindlein, Norbert and Schwider, Johannes},
title = {{Durchlichtprüfung diffraktiver zylindrischer Nullelemente}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2004},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {105. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2004-06-02/2004-06-05},
venue = {Bad Kreuznach},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2004},
pages = {P24},
langid = {ngerman},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/105-p24}
}