Untersuchung der Messgenauigkeit eines modengekoppelten Lasers im externen Resonator als Abstandssensor für rauhe Oberflächen

Eine einseitig entspiegelte Laserdiode in einem externen Resonator wird durch synchrones Pumpen zur Modenkopplung angeregt. Aus der Anregungsfrequenz lässt sich der Abstand der longitudinalen Moden und damit die Resonatorlänge bestimmen. Abhängig von der Resonatorfinesse ermöglicht die resonante Anregung prinzipiell eine erhöhte Messauflösung im Vergleich zu nichtresonanten Systemen. Durch das aktive Verstärkungsmedium mit seinen stark nichtlinearen Eigenschaften werden allerdings systematische Messfehler hervorgerufen. Experimentelle Ergebnisse und Simulationsrechnungen zur Halbleiterlaserdynamik werden präsentiert, deren Berücksichtigung eine Reduktion des systematischen Fehlers erlaubt. Mögliche Anwendungen sind die Lasermeterialbearbeitung oder in-situ Kontrolle von Schleifprozessen. Die Arbeiten werden im Rahmen des Projekts 13N8316 vom BMBF gefördert.