Ein Messsystem zur Einzelteildokumentation der winkelabhängigen Reflexion und Transmission bei Excimerlaserwellenlängen für die optische Serienfertigung

Der Beitrag stellt ein Messsystem vor, mit dem als Funktion des Winkels simultan Reflexion und Transmission von optischen Komponenten (vorzugsweise Planoptik) vermessen werden können. Der Aufbau ist für Kurzpulslaser in Luft entwickelt, in unserem Fall mit einem Excimerlaser bei 193 nm. Das System wird für die Einzelteildokumentation in der Serienfertigung eingesetzt, die Messergebnisse werden mit automatisierter Freigabe bzw. Sperrung gemäß Spezifikation in einer Datenbank archiviert. Der Beitrag beschreibt den optischen Aufbau sowie Details zur Signalverarbeitung und der Datenbankverwaltung der Messdaten. Außerdem werden erste Messergebnisse von beschichteter Planoptik vorgestellt (variabler Abschwächer und Scanner- bzw. Umlenkspiegel). Ein Resultat dieser Messungen ist eine erhebliche Streuung der Daten bei den Einzelteilen, sowohl innerhalb einer Beschichtungscharge, als auch von Charge zu Charge.