Asphärenprüfung ohne CGH

FISBA OPTIK GmbH, 12489 Berlin

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Abstract

Üblicherweise werden Oberflächen in Nullinterferenz, d.h. mit angepassten Wellenfronten geprüft. Für die Prüfung asphärischer Prüflinge werden dementsprechend asphärische Prüfwellenfronten benötigt. Im Gegensatz zu der Planflächen- bzw. Sphärenprüfung kann mit einem entsprechenden Asphärenobjektiv (z.B. CGH) i.a. nur eine spezielle Asphäre gemessen werden. Dies hat zur Folge, dass die Asphärenprüfung sehr kostspielig ist, da neben der benötigten Anzahl von Objektiven auch jedes einzelne selbst recht teuer ist. Die sphärische Asphärenprüfung bietet hier eine Alternative, da mit ihr die Prüfung mit konventioneller sphärischer Prüfoptik möglich ist, bei der der systematische Setup-Fehler eliminiert wird und da Ergebnis einer konventionellen Nullprüfung entspricht. Voraussetzung für die sphärische Prüfung von Asphären ist, das die Abweichungen der Asphäre von einer Sphäre nicht zu groß sind. Anhand ausgewählter Beispiele wird das Verfahren demonstriert.

Keywords

Messtechnik Prüfung optischer Systeme Interferometrie
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@inproceedings{dgao105-p47, title = {Asphärenprüfung ohne CGH}, author = {M. Bosse, T. Blümel}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 105. Jahrestagung}, year = {2004}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Poster P47} }
105. Jahrestagung der DGaO · Bad Kreuznach · 2004