Hochauflösender chromatisch kodierter Abstandssensor mit Piezogitter variabler Ortsfrequenz

Die Analyse des von einer Oberfläche zurückgestreuten Spektrums ermöglicht hochgenaue Abstandsmessungen mit einer Auflösung kleiner 100 nm. Allerdings wird die Auflösung des Sensors u.a. durch die Auflösung des Spektrometers begrenzt. Um eine Verbesserung der Auflösung zu erreichen, werden aus dem zurückgestreuten Spektrum markante Wellenlängen selektiert und analysiert. Ersetzt man das herkömmliche, rotierende Gitter durch ein fein verstimmbares Piezogitter, d.h. ein Gitter mit variabler Ortsfrequenz, so lässt sich die Auflösung weiter verbessern. Es wird der Aufbau und die Wirkungsweise des faseroptischen Abstandssensors mit chromatischer Kodierung diskutiert. Des weiteren wird auf die Grenzen des Sensors und dessen Auflösungssteigerung eingegangen.