Kompakte, hochrepetierende Excimerlaser für industrielle Anwendungen

Nicht nur in der Lithographie finden hochrepetierende Excimerlaser als Belichtungsquelle ein Anwendungsgebiet, auch in anderen industriellen Anwendungen werden hochrepetierende Excimerlaser gefordert, in diesem Falle jedoch ohne Bandbreiteneinschränkung. Auch kompakte Excimerlaser sind inzwischen mit Repetitionsraten bis zu 2 kHz verfügbar, Geräte mit 1 kHz sind schon im industriellen Einsatz. Die Laserausgangsdaten dieser neuen Gerätefamilie werden ausführlich dargestellt und ein Ausblick auf mögliche zukünftige Entwicklungen gegeben. Sowohl die Langzeitstabilität des Lasers als auch die Komponentenlebensdauern, insbesondere der Verschleißteile Optik und Laserröhre, sind die Hauptarbeitsgebiete der steten Weiterentwicklung.