Optimierung von Beleuchtungsoptiken

Hochschule Ravensburg-Weingarten, Weingarten; 2Leica Microsystems Semiconductor GmbH; Wetzlar

hamer@hs.weingarten.de

Abstract

In der Nicht-abbildenden Optik kann man die bekannten Least-Square-Optimierungsverfahren nicht anwenden, da bei Raytracing-Rechnungen das Ergebnis statistisch verrauscht ist. Das statistische Rauschen kann zwar durch viele Strahlen im Raytracing vermindert werden, die Rechenzeit steigt dadurch jedoch sehr stark an. Im Vortrag werden an hand eines Beispiels zwei Optimierungsverfahren geschildert, wie man trotz der statistischen Probleme Optimierungen in Beleuchtungsoptiken vornehmen kann: a.)Optimierung einzelner Parameter im Excel-Batchbetrieb, mit großen Rechenzeiten b.)Automatische Optimierung mehrerer Parameter mit der neuen Lighttools Version 5.2 Als Anwendungsbeispiel dient eine Beleuchtung in einem Mikroskop zur Inspektion von Halbleiterwafern. Ziel war eine homogene Beleuchtung einer sehr schräg stehenden, ebenen Fläche mit einer vorgegebenen Lichtleiter-Lichtquelle. Im Vortrag werden Erfahrungen mit dem neuen Optimierungstools in Lighttools berichtet. Zur Berechnung der Toleranzen um das Optimierungsoptimum herum benötigt man allerdings in jedem Fall die eindimensionale Variation der Parameter und die Kopplung zu Excel. http://www.opticalres.com

Keywords

Beleuchtung Optische Systeme Optisches Design
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@inproceedings{dgao107-a12, title = {Optimierung von Beleuchtungsoptiken}, author = {S. Ebner, E. Hamer, A. Kreh, M. Heiden, W. Vollrath}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 107. Jahrestagung}, year = {2006}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Vortrag A12} }
107. Jahrestagung der DGaO · Weingarten · 2006