Reduktion von Störinterferenzen in der höchstauflösenden Interferometrie durch Auflösung der örtlichen Kohärenz mittels Faserbewegung

Die Auswertung von Interferenzbildern mit der Phasenverschiebungsinterferometrie ist i.d.R. unabhängig von überlagerten Helligkeitsprofilen und parasitären Interferenzsystemen. Dazu muss aber selektiv nur der Gangunterschied des zu untersuchenden Interferometers verändert werden. In den letzten Jahren haben vermehrt durchstimmbare Laser Einzug gehalten und ermöglichen eine elegante Phasenverschiebung durch frequency-shifting. Nachteil ist allerdings, dass nun auch wieder parasitäre Interferenzsysteme mit-moduliert und ausgewertet werden. Die Störungen werden deutlich reduziert durch die Zerstörung der räumlichen Kohärenz, wie es durch den Einsatz einer 200µm-multimode-Faser erreicht wird. Größere Präzision und Variabilität verspricht eine neuartige Methode, bei der der Ausgang einer 4µm-monomode-Faser prozessorgesteuert innerhalb eines äquivalenten 200µmx200µm-Feldes bewegt wird. Durch die Art der Flächenbelegung können verschiedene Blendenformen und –abmessungen generiert werden, die Helligkeit wird über die Bahngeschwindigkeit gesteuert. Dem Einfluss der jeweiligen Blendenkorrektion auf die Längenmessung kann präzise Rechnung getragen werden.