Interferometrische Vermessung von Abform-Matrizen für FAC-Zylinderlinsen

Für das Heißprägen von Mikrozylinderlinsen in Glas werden Matrizen in Stahl versehen mit speziellen Schichten auf der Oberfläche (Herstellung und Verwendung der Matrizen: IWM der FhG) eingesetzt. Typische Abmessungen der Mikrozylinderlinsen sind ca. 1x12mm mit Krümmungsradien von ungefähr 500µm. Zur Vermessung der Abform-Matrizen gehört neben der Bestimmung der Abweichungen von der idealen Form auch die Messung des Scheitelkrümmungsradius. FAC-Zylinderlinsen werden zur Kollimation von Laserbarren eingesetzt. Große Abstrahlwinkel der Laserbarren erforden eine hohe numerische Apertur der Einzellinse. Zur Messung der Oberflächenabweichungen wird ein diffraktives Mikrointerferometer eingesetzt.. Die verwendete effektive Wellenlänge beträgt 4 µm. Durch „phase shifting“- Auswertung lassen sich Abweichungen bis zu 10nm noch nachweisen. Das Interferometer erlaubt auch die Messung des Krümmungsradius durch Anfahren von zwei Kollimationsstellungen der Mikrozylinderlinse relativ zum Bezugssystem des Interferometers.