Bessere Genauigkeit bei der Weißlichtinterferometrie auf rauhen Oberflächen

In der Weißlichtinterferometrie auf rauen Oberflächen („Kohärenzradar“) wird in jedem einzelnen Speckle die Höhe des Messobjektes durch Lokalisation des Korrelogramms bestimmt. Die physikalische Messunsicherheit ist durch den Lagefehler des Korrelogramms gegeben. Dieser Fehler, der auch durch eine perfekte Auswertung des Korrelogramms nicht zu vermeiden ist, ist umso größer, je dunkler das Speckle ist. Ist das Speckle gar so dunkel, daß der Interferenzkontrast im Kamerarauschen untergeht, so misslingt die Messung und der Messwert erscheint als Ausreißer. Diese Mängel vermeiden wir, indem wir durch geeignete Beleuchtung anstelle e i n e s Specklefeldes m e h r e r e statistisch unabhängige Specklefelder erzeugen. Diese werden getrennt voneinander ausgewertet, wobei in jedem Messpunkt die Höhenwerte des hellsten Speckle größeres Gewicht finden. Damit können wir Ausreißer praktisch ausschließen und erhalten zusätzlich eine deutlich bessere Messgenauigkeit.