Deflektometrie von Oberflächen mit einem Zweistrahlverfahren

Es wird ein Deflexionsverfahren vorgestellt, das eine gleichzeitige Mesung der Reflexion von zwei Lichtstrahlen unterschiedlicher Einfallsrichtung an einem Tastort erlaubt. Als Meßsignal wird die mittlere Verschiebung der reflektierten Strahlen auf zwei geeignet angebrachten positionsempfindlichen Detektoren in einem Scan längs einer Kreis- oder linearen Bahn aufgenommen. Das Oberflächenprofil, definiert als Abweichung von der Kreis- bzw. ebenen Bewegung, wird in einem selbstkonsisten Verfahren aus dien Meßdaten berechnet, indem man die Abweichung der realen Trefferorte vom idealen Tastpunkt und die lokale Steigungin in diesen Punkten bestimmt. Der Vergleich mit mechanischen Tastschnittprofilen wird vorgestellt. Zudem wird demonstriert, daß neben der Feinstruktur, z.B. Welligkeit, auch die Formabweichung ohne Veränderung der Scanrichtung ermittelt werden kann.