Physikalisch erreichbare Messunsicherheit bei der optischen Neigungsmessung

Institut für Optik, Information und Photonik, Max-Planck-Forschungsgruppe, Universität Erlangen-Nürnberg

ghaeusler@optik.uni-erlangen.de

Abstract

Wie groß ist die physikalisch erreichbare Messunsicherheit bei der optischen Neigungsmessung? Wie sieht ein Sensor aus, der diese Grenze erreicht? Kann man die Grenze sogar „überwinden“? Wir diskutieren diese Fragen am Beispiel verschiedener neigungsmessender Verfahren. Zum Beispiel kann bei der „Phasenmessenden Deflektometrie“ die Messunsicherheit – wie bei praktisch allen Messverfahren – aus einer Unschärferelation abgeleitet werden. Die konjugierten Größen sind in diesem Fall Ortsauflösung und Neigungsunsicherheit, und man kann bessere Neigungsunsicherheit gegen schlechtere Ortsauflösung eintauschen. Es zeigt sich, dass die Überlegungen mit fundamentalen Grenzen konsistent sind, und sie führen überdies zu einer Anleitung für den Bau eines optimalen Sensors.

Keywords

Theoretische Grundlagen 3D-Messtechnik
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@inproceedings{dgao107-b29, title = {Physikalisch erreichbare Messunsicherheit bei der optischen Neigungsmessung}, author = {G. Häusler, M. C. Knauer}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 107. Jahrestagung}, year = {2006}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Vortrag B29} }
107. Jahrestagung der DGaO · Weingarten · 2006