Entwicklung eines neuartigen Strahlteilers für Hochleistungslaser
FH OOW Emden/Wilhelmshaven
frank.buchmueller@agent.fho-emden.de
Abstract
Es wird über die Entwicklung eines Strahlteilers mit konstantem Teilungsverhältnis, welcher besonders für Anwendungen des Laser Monitorings geeignet ist, d.h. zur Online-Überwachung der Strahlqualität und Leistung von Lasern mit hohen Leistungsdichten berichtet. Das optische Design der Oberfläche des Strahlteilers erfolgt durch eine speziell entwickelte Software, die die Masken für Zonenplatten berechnet. Die Mikrostrukturen des diffraktiven Strahlteilers werden durch Ionendiffusion unter der ebenen Substratoberfläche generiert und sind dadurch gegen Umwelteinflüsse resistent. Der 1% Strahlanteil wir unter einem Winkel von 90° ausgekoppelt.
Keywords
Lasertechnik
Diffraktive Optik
Mikrolithografie
@inproceedings{dgao107-p10,
title = {Entwicklung eines neuartigen Strahlteilers für Hochleistungslaser},
author = {F. Buchmüller, F. Ahnepohl, H. Buse, H. Schütte, H. Kreitlow, C. Thoma},
booktitle = {DGaO-Proceedings, 107. Jahrestagung},
year = {2006},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
issn = {1614-8436},
note = {Poster P10}
}
107. Annual Conference of the DGaO · Weingarten · 2006