Eigenschaften von geblazten Area-Coded Effective Medium Structures (ACES)

Kürzlich [1] wurden geblazte Area-Coded Effective Medium Structures (ACES) vorgestellt, die auf einer Sub-Wellenlängen Strukturierung quer zur Dispersionsrichtung basieren. Sie stellen eine Alternative zu binär geblazten Gittern dar, die im 2D-Fall sehr schwer herzustellen sind. ACES weisen aufgrund ihrer zusammenhängenden Flächen eine größere Stabilität auf. Das konnte bei hergestellten ACES nachgewiesen werden. Ein weiterer Vorteil der ACES ist die für Anwendungen mit hoher NA höhere Beugungseffizienz gegenüber bekannten geblazten Gittern. Allerdings weisen ACES aufgrund ihrer 2D-Unsymmetrie eine inhärente Strukturdoppelbrechung auf. Es werden die Eigenschaften von ACES in Abhängigkeit von der flächigen Profilform vorgestellt und gezeigt, wie die Polarisationsaufspaltung minimiert oder die Polarisation gezielt erhöht werden kann. [1] B. H. Kleemann, J. Ruoff, R. Arnold, Area-coded effective medium structures, a new type of grating design, Optics Letters 30 (2005), 1617-1619.