Untersuchungen technischer Oberflächen mit Terahertz-Strahlung

Der Oberbegriff Terahertz-Strahlung steht für den Bereich des elektromagnetischen Spektrums, der zwischen den elektronisch erzeugbaren Meter- bis Millimeterwellen und dem infraroten Bereich des Lichtspektrums liegt. Dieser Bereich wird auch als Terahertz-Lücke (THz-Gap) bezeichnet. – Lücke deshalb, weil man bis vor wenigen Jahren in diesem Bereich nur unter großem Aufwand nutzbare Strahlung erzeugen bzw. detektieren konnte. Wir wollen zwei auf Terahertz-Strahlung beruhende reflektometrische Messverfahren vorstellen, die auf die Erkennung von Oberflächenkrümmungen optimiert sind. Die erste Methode ist eine Dunkelfeld-Technik, die uns die hochsensitive Detektion von Vertiefungen und Erhebungen in technischen Oberflächen ermöglicht. Mit dieser Messmethode können wir zwar noch nicht konvexe von konkaven Krümmungen unterscheiden, dies wird jedoch durch die Kombination einer out-of-focus Bildgebungsmethode mit geeigneter Strahlfilterung ermöglicht. Neben der opto-elektronischen Erzeugung und Detektion von Terahertz-Strahlung werden Ergebnisse der Oberflächenuntersuchungen diskutiert und mit klassischen Methoden verglichen.