Entwicklung eines miniaturisierten low cost Fourierspektrometers ohne bewegliche Komponenten für den sichtbaren Spektralbereich
Günter Beichert Holo-Support; 2 Institut für Mess- und Regelungstechnik, Universität Hannover
Abstract
Das Fourierspektrometer beruht auf dem Prinzip des Michelson Interferometers. Im Gegensatz zum klassischen Michelson Aufbau, wo das Interferogramm zeitseriell in Abhängigkeit vom Verschiebeweg eines Spiegels detektiert wird, kommt in diesem Aufbau ein räumliches Interferenzmuster zustande. Dazu wird der Spiegel in einem Interferometerarm gekippt. Anstelle einer einzelnen Fotodiodenzeile (typisch 1024 Pixel) zur Detektion der Interferenzstreifen wird ein kostengünstiges Fotodiodenarray (z.B. CCD-Array, 640 x 480 Pixel) verwendet. Um das Fotodiodenarray effektiv ausnutzen zu können, muss ein der Geometrie des Arrays angepasstes Interferenzstreifenmuster erzeugt werden. Dies erfolgt durch ein spezielles Spiegeldesign. Derzeit ist ein gefräster Mikrostufenspiegel im Einsatz. Die kostengünstige Fertigung des Systems soll durch Einsatz des Heißprägeverfahrens sowohl für die Reproduktion des Mikrospiegels als auch für das Housing erzielt werden. Die Leistungsmerkmale des Fourierspektrometers werden einem miniaturisierten Gitterspektrometer vergleichbaren Bauvolumens gegenübergestellt.