Doppelbelichtung und Replikation von Mikrostrukturen für die optische Informationsübertragung

Eine Integration von Faser-Verbindungselementen in den Herstellungsprozess von VCSELs gestattet eine signifikante Miniaturisierung der optischen Übertragungseinheiten bei gleichzeitiger Reduktion der Produktionskosten. Für eine kostengünstige Replikation der Spiegelstrukturen muss jedoch die Entformbarkeit sichergestellt sein. Die mittels UV-Schrägbelichtung erzeugten Mikrospiegelarrays lassen sich derzeit aufgrund ihrer natürlichen beidseitigen Schräge und den damit verbundenen „Unterhöhlungen“ nicht direkt abformen. Dieses Problem konnte durch eine zwei-Phasen Belichtung (senkrecht/schräg) gelöst werden. Wir stellen das Konzept der Doppebelichtung vor und zeigen Ergebnisse der Replikation von Mikrostrukturen mit PDMS (Polydimethylsiloxan) - Polymeren.