DUV-Shearing Interferometer mit großem lateralen Shear

Anhand eines lateralen Shearing-Interferometers basierend auf einem Ronchi-Gitter Paar soll die Anforderung an die Lichtquelle für die Realisierung großer lateraler Shears untersucht werden. Als Lichtquelle wird ein ArF Excimer-Laser mit einer Wellenlänge von 193nm verwendet. Dabei wird einerseits auf die Auswirkung der reduzierten zeitlichen und räumlichen Kohärenz der Lichtquelle und die Anpassung der räumlichen Kohärenz an das Messproblem eingegangen. Andererseits werden die Anforderungen an die Stabilität der Lichtquelle untersucht. Das System wird verwendet, um geringe lokale Änderungen des optischen Weges in der Größenordnung von wenigen nm zu messen. Solche werden beispielsweise durch eine kleine Dickenänderung des Testkörpers hervorgerufen oder durch eine Änderung des Brechungsindex, wie sie im Fall der Verdichtung von Quarzglas unter UV-Bestrahlung auftritt.