Interferogrammanalyse mit Trägerfrequenzverfahren und hoher lateraler Auflösung
Carl Zeiss SMT AG
Abstract
In der Interferometrie haben sich Streifenanalyseverfahren nach der Trägerfrequenzmethode als überlegen gegenüber Phasenschiebemethoden erwiesen, wenn Vibrationen und Luftturbulenzen die Stabilität der Interferogramme beeinträchtigen. Bedingt durch die verwendeten Filtertechniken wie Fourier- und Wavelet-Transformationen oder Faltungstechniken wird die laterale Auflösung der ermittelten Wellenfronten vermindert. Es wird ein Verfahren vorgestellt, das Trägerfrequenz- und Phasenschiebemethoden vereinigt, um damit lateral hochaufgelöste Wellenfronten auch unter instabilen Umgebungsbedingungen zu bestimmen. Weitere Signalstörungen z.B. durch nichtlineare Kamerakennlinien werden kompensiert. Die Stabilität des Verfahrens und die Verbesserung in der lateralen Auflösung werden in Beispielen erläutert.
Keywords
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