Wellenfront geführte Justage und Prüfung von Optiksystemen mit Lichtquellen niedriger Kohärenz
Optocraft GmbH, Erlangen
Abstract
In moderne optische Systeme für Massenanwendungen sind zunehmend teilkohärente Lichtquellen wie LEDs zusammen mit Kunststoffoptiken integriert. Die Genauigkeitsanforderungen sind hier je nach Produkt-Typ deutlich unterschiedlich. Die Qualität und Funktion hängt aber letztlich auch zu einem großen Teil von der relativen Justage aller optischen Elemente zueinander und relativ zur Lichtquelle ab. Bei der Verwendung von teilkohärenten Lichtquellen lassen sich interferometrische Verfahren in aller Regel nicht verwenden, einfache Bildverarbeitung ist jedoch oft zu ungenau bzw. bietet zu wenige Auswertemöglichkeiten. Hier lassen sich an die vorhandene Kohärenz speziell angepasste Shack-Hartmann-Wellenfrontsensoren erfolgreich einsetzten. Diese liefern für alle Freiheitsgrade aus einem Kamerabild ein vorzeichen- und größenbehaftetes Justagesignal. Damit ist eine automatisierte Justage zusammen mit einer Qualitätsendprüfung möglich.
Keywords
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