Mikro-Deflektometrie

Wir stellen eine neue Methode zur hochauflösenden Neigungsmessung vor, die „Mikro-Deflektometrie“. Sie ermöglicht es, die lokale Neigung mikroskopischer spiegelnder Objekte vollflächig zu vermessen. Die Methode basiert auf der phasenmessenden Deflektometrie (PMD) [1], bei der die Reflexion eines auf eine Mattscheibe projizierten Streifenmusters an einer spiegelnden Oberfläche betrachtet wird. Aufgrund des kleinen Arbeitsabstandes und der geringen Schärfentiefe von Mikroobjektiven ist eine einfache Skalierung des PMD-Aufbaus nicht möglich. Wir stellen eine Modifikation des Aufbaus vor, mit der die Objektneigung mit hoher Empfindlichkeit auch im Mikroskop gemessen werden kann. Es stellt sich heraus, dass die Neigungsempfindlichkeit zwar geringer ist als bei der makroskopischen Deflektometrie, aber die messbare Höhenvariation innerhalb der Auflösung des Mikroskops im Bereich von etwa einem Nanometer liegt. Damit ist die Mikro-Deflektometrie ähnlich empfindlich wie gute Interferometer. [1] Proc. SPIE 5457, S. 366 ff., 2004