Deterministische Formgebung kleinformatiger Präzisionsoptiken mit reaktiven Normaldruck-Plasmajets

Zunehmend spielen kleinformatige Präzisionsoptiken mit Durchmessern von etwa 50mm bis zu wenigen Millimetern mit unterschiedlichen Formgenauigkeiten von ca. 300nm bis etwa 10nm  je nach Anwendung in modernen Optiksystemen eine wesentliche Rolle. Dabei werden Sphären und Asphären und zukünftig auch immer mehr Freiformflächen eingesetzt. Für eine Fertigungstechnologie sind effiziente, deterministische lokale Bearbeitungsverfahren mit Lateralauflösungen im Millimeter- und Sub-Millimeterbereich erforderlich. Der chemisch reaktiv arbeitende Normaldruck-Plasmajet mit nahezu gaussförmiger Abtragfunktion und Halbwertsbreiten von einigen Millimetern bis zu ca. 300µm stellt neben den CCP- und MRF-Verfahren eine aussichtsreiche Alternative dar. Die Plasmajetquellen des IOM basieren auf der etablierten Mikrowellenanregung von 2,45 GHz. Mittels Modellierungsverfahren des Materialabtrags und CNC-verweilzeitgesteuerter Mehrachsenbewegung des Plasmajetwerkzeugs über der Oberfläche lassen sich Formfehler von bis zu einigen µm PV korrigieren aber auch Freiformflächen mit einigen 10µm Abweichung von der bestangepassten Planfläche oder Sphäre mit hoher Präzision herstellen.