Sub-Nanometer-RMS Rauheit von Einkorn-diamantgedrehten Metalloberflächen mittels Ionenstrahlglättung

Ultrapräzise Metalloptiken, insbesondere auch Asphärenflächen, spielen in modernen Optiksystemen wie Hochleistungslaser, EUV-Lithografie-Beleuchtungssysteme, Synchrotron- und FEL-Strahlformung oder in der Neutronenoptik besonders in Fällen extrem hoher Strahlleistungen eine große Rolle. Hauptsächlich Kupfer wird wegen seiner hohen Wärmeleitfähigkeit und der Möglichkeit der Wasserkühlung verwendet. Neben der hochgenauen Flächenform sind für die kurzwelligen Anwendungen DUV, EUV, Röntgen und Neutronen extrem glatte Oberflächen im Angström-RMS-Bereich erforderlich. In dem Beitrag werden jüngste Entwicklungsergebnisse zur Glättung von diamantgedrehten Cu-Oberflächen mittels mehrerer Schritte der Beschichtung und jeweiliger nachfolgender Glättung durch Ionenstrahlmaterialabtrag vorgestellt. Die Ergebnisse zeigen eine zuverlässige Reduzierung der Mikrorauheit über breite Bereiche der Ortswellenlänge bis zu 0,2 nm RMS.