Diffraktive optische Elemente hergestellt durch Präzisionsblankpressen in optischen Gläsern
SCHOTT AG, Optics for Devices
Abstract
Diffraktive optische Elemente (DOEs) waren bisher auf wenige Applikationen und Materialien beschränkt. Ursachen hierfür sind die hohe Komplexität der erforderlichen Strukturierungstechnologien, die geringe Materialauswahl in Kombination mit geringen Ausbeuten der Bauteile und hohe Kosten derartiger optischer Baugruppen. Als Alternative zu lithographischen Strukturierungsverfahren (IBE, CAIBE, RIE) hat die SCHOTT AG neue Prozesse für die wirtschaftliche Herstellung mikrooptischer und diffraktiver Optikkomponenten aus niedrig schmelzendem Glas durch Präzisionsblankpressen entwickelt. Durch die Verwendung von Glas mit diffraktiven Strukturen lassen sich mikrooptische Systeme mit innovativen Funktionalitäten und verbesserten Abbildungsqualitäten herstellen. Ein weiterer Vorteil diffraktiver Elemente liegt in der Reduktion von Bauraum und Gewicht optischer Systeme. Auch hierfür sind komplexe Verfahren notwendig, die einen hohen Anteil unterschiedlichster Querschnittstechnologien enthalten. SCHOTT hat, ausgehend von neuen Gläsern, geeignete massentaugliche Fertigungsprozesse entwickelt, die die Herstellung von DOEs in hohen Stückzahlen mit extrem guter Reproduzierbarkeit erlauben.
Keywords
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