Chromatisch-konfokale Spektral-Interferometrie (CCSI)

Die CCSI ist ein interferometrisches Verfahren zur Vermessung von 3D-Objekten ohne mechanischen Tiefen-Scan basierend auf der Verwendung einer breitbandigen Lichtquelle mit anschließender spektraler Aufspaltung des Messsignals (Spektral Interferometrie-SI). Ein genereller Nachteil bei herkömmlichen SI Systemen ist, dass der Objektabstand oder das Tiefenprofil der Probe nur innerhalb der wellenoptischen Schärfentiefe des Sensors ermittelt werden kann. Da die Schärfentiefe durch die numerische Apertur-NA des Objektivs bestimmt ist, ist der nutzbare Tiefenmessbereich bei der Verwendung einer hochaperturigen Messoptik sehr eingeschränkt. Mit dem hier präsentierten neuen Ansatz zur Topografiemessung, der chromatisch-konfokalen Spektral-Interferometrie - CCSI wird eine Längsaufspaltung von Foki im Objektraum durchgeführt, welche die Entkopplung des Tiefenmessbereichs des Sensors vom Tiefenschärfebereich des Messobjektivs ermöglicht. Damit kann eine hochaperturige Abbildungsoptik verwendet werden, ohne den Tiefenmessbereich des Sensors zu beschränken. E. Papastathopoulos, K. Körner, W. Osten, Appl. Opt. 45, 8244 (2006) E. Papastathopoulos, K. Körner, W. Osten, Opt Lett. 31, 589 (2006)